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真空基礎(chǔ)知識

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2015-10-13 15:01:54 點擊數(shù):

真空的定義

        由低于大氣壓的氣體所充滿的空間被稱為真空。真空有不同的程度:從大氣壓到百分之一氣壓的狀態(tài)被稱為低真空,到百萬分之一的被稱為中真空,到一百億分之一的被稱為高真空,到十兆分之一的被稱為超高真空,低于十兆分之一的被稱為極高真空狀態(tài)。

        到達各種真空狀態(tài)需要各種排氣泵的組合,達到中真空狀態(tài)可利用轉(zhuǎn)輪泵等機械泵,到達中真空狀態(tài)以上需要另外使用分子泵,油擴散泵,低溫泵或離子泵等。根據(jù)所需的真空狀態(tài),各種排氣泵可適當(dāng)組合。

 

 

抽 氣 速 率 單 位 換 算 表

單位

立方米/秒(m3/s)

升/秒(L/s)

立方米/小時

立方英尺/分

1立方米/秒(1m3/s)

1

1000

3600

2118.88

1升/秒(1L/s)

10-3

1

3.6

2.119

1立方米/小時(1m3/h)

2.78×10-4

0.278

1

0.59

1立方英尺/分(1cft/min)

2.78×10-4

0.47

1.69

1

常 用 壓 強 單 位 換 算 表

 


Pa


Torr

微米汞柱
μmHg

微巴
μbar

毫巴
mbar

大氣壓
atm

工程大氣壓
am

英寸汞柱
inHg

磅/英寸2
lb/in2

1 Pa

1

7.5×10-3

7.5

10

10-2

9.86923×10-6

1.0197×10-5

2.953×10-4

1.450×10-4

1 Torr

133.32

1

103

1333.2

1.3332

1.31579×10-3

1.3595×10-3

3.937×10-2

1.934×10-2

1μmHg

0.13332

10-3

1

1.3332

1.3332
×10-3

1.31579×10-6

1.3595×10-6

3.937×10-5

1.934×10-5

1μbar

10-1

7.5×10-4

7.5×
10-1

1

10-3

9.86923×10-7

1.0197×10-6

2.953×10-5

1.450×10-5

1 mbar

102

7.5×10-1

7.5×
102

10-3

1

9.86923×10-4

1.0197×10-3

2.953×10-2

1.450×10-2

1 atm

101325

760

760×
103

1013.25
×103

1013.25

1

1.0333

29.921

14.696

1 am

98066.3

735.56

735.56×
103

980663

980663
×10-3

0.967839

1

28.959

14.223

1inHg

3386

25.4

25.4×
103

3.386×
104

33.86

3.342×10-2

3.453×10-2

1

4.912×10-1

1lb/in2

6895

51.715

51.715×
103

6.895×
104

68.95

6.805×10-2

7.031×10-2

2.086

1