(1)編制真空爐使用維護操作規(guī)程，建立真空爐運行記錄和修理檔案，統(tǒng)計運行累積工作時間，加強真空爐日常維護，掌握設(shè)備技術(shù)狀態(tài)變化趨勢，及早發(fā)現(xiàn)故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質(zhì)的維修，并根據(jù)真空爐工作負荷和運行狀況，提前有針對性地準備真空爐修理用零部件，編制真空爐運行維護方案。如真空爐加熱元件的使用壽命長短與工作溫度、真空爐內(nèi)產(chǎn)品介質(zhì)、產(chǎn)品數(shù)量及操作情況等許多因素有關(guān)，在每天24小時加工生產(chǎn)的情況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每兩三年進行一次．這取決于釬焊工作的類型和使用次數(shù)。真空爐一般在春秋季節(jié)泄漏故障較多，長期閑置的真空爐在才次使用時真空爐泄漏故障比較易發(fā)生。這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率(在常溫下，關(guān)閉所有真空閥，停止真空系統(tǒng)運轉(zhuǎn)，1Omin后讀一個數(shù)，1h后再讀一個數(shù)，兩數(shù)之差是壓升率的數(shù)值)，掌握設(shè)備泄漏變化趨勢，如真空設(shè)備連續(xù)停機一個禮拜，要空運轉(zhuǎn)一次（進行烘爐）。

在真空系統(tǒng)檢漏時，除臨時應(yīng)急維修用真空泥糊堵外，有氦質(zhì)譜檢漏儀可用氦質(zhì)譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質(zhì)譜檢漏儀可用醫(yī)用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數(shù)有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發(fā)現(xiàn)油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應(yīng)每周檢查一次油位和油的質(zhì)量。擴散泵油油擴散泵有積炭可用化學(xué)酸洗的方法清洗。

(2)真空爐維修好后的使用初期要經(jīng)常進行檢查，檢查使用后的真空爐表溫度和爐子實際溫度是否一致(定期進行真空計、溫控儀、熱電偶、電壓表、電流表的檢定、校準工作），檢查三相加熱體是否存在過熱損傷情況、溫度不均或發(fā)白等現(xiàn)象。對于三相高溫真空爐，以及真空電阻爐容量超過100kW時，每相、每一個加熱區(qū)都應(yīng)安裝有電流表，發(fā)現(xiàn)真空爐溫與儀表指示不正常，及時分析處理。

(3)不能超負荷使用真空爐，真空爐的最高使用溫度是指元件在真空中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質(zhì)的溫度或加熱元件周圍的溫度。要注意真空電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質(zhì)溫度或被加熱溫度高100℃。

(4)要避免加熱元件和產(chǎn)品發(fā)生反應(yīng)，尤其足銅、鋁、鋅、錫、鉛等與真空加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小，最后過熱而燒斷。

(5)測量真空爐溫均勻性時，應(yīng)注意測溫觸點的定位捆綁方式，以及距加熱元件的遠近。真空爐內(nèi)經(jīng)常(至少每天或每班使前)用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛，要防止爐內(nèi)氧化皮等雜質(zhì)掉在電熱元件上，發(fā)生短路，甚至燒壞鉬加熱棒。底板、鉬加熱棒、爐保溫層等耐熱鋼構(gòu)件每使用一段時間，應(yīng)該進行清理，嚴禁敲擊，可小心清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質(zhì)如不及時清除，就會熔融處與保溫層發(fā)生打火，使鉬絲熔化。

(6)真空爐子升溫后，不能突然破壞真空系統(tǒng)，更不可打開真空爐爐門。注意充大氣進去前,應(yīng)關(guān)閉真空計開關(guān),防止真空計老化。當溫度高于400

℃時，不得急劇冷卻。對于真空加熱元件在溫度高、真空度不好以及冷熱變化大情況下，容易引起氧化。對于鉬加熱爐，正常使用維護中注意應(yīng)冷卻至200℃以下方可停送保護氮氣。

80℃以下才能打開爐門。

(7)冷卻系統(tǒng)是真空爐的重要部分。冷卻水路應(yīng)保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是真空爐工作時常披忽視的問題當無人管理時可能會導(dǎo)致真空爐的重大毀壞。用生物分解化學(xué)輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質(zhì)呈懸浮態(tài)，減少橡皮管、蛇形管和水套內(nèi)沉淀物累積，以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監(jiān)測水的導(dǎo)電性，自動補充化學(xué)劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統(tǒng)配合，這種方法還可以保證水的pH值控制，防止在冷卻水系統(tǒng)中多余礦物質(zhì)沉積。在系統(tǒng)工作穩(wěn)定后，至少應(yīng)每月一次進行水質(zhì)試驗以防過處理或欠過理。真空爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應(yīng)放在水路系統(tǒng)中，每年做一次重量損失檢驗以檢查處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器必須特別注意。應(yīng)該經(jīng)常檢查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。

(8)最關(guān)鍵是做好停電應(yīng)急措施，控制柜應(yīng)有電源急停裝置。必須做好停電的預(yù)防措施！

碰上突然停電時可用發(fā)電機抽冷卻水,也可沖氮氣冷卻真空爐。防止真空爐因停電而超溫損壞密封圈。真空爐的循環(huán)水系統(tǒng)嚴禁斷水!冷卻水的壓力必須按照額定壓力設(shè)備冷卻水進口處壓力：0.15～0.3MPa、流量約30m3/h。進水溫度≤32℃、推薦用戶主水泵配揚程約50m,流量約30m3/h。需要水池及冷卻塔。壓縮空氣源：0.4～0.8MPa、流量：1m3/h。真空爐因為安裝了水溫、水壓和流量繼電器，當出現(xiàn)不正常情況時應(yīng)能斷電， 并及時報警。

(9)真空爐的真空抽氣系統(tǒng)中配備與電源聯(lián)鎖的自動閥門，在發(fā)生停電事故時能夠關(guān)斷抽氣管路，防止空氣和真空泵油進入爐內(nèi)。

真空爐加熱元件的日常修理

1．加熱元件的損壞

普通低溫真空釬焊爐（鋁真空釬焊爐）加熱元件主要采用鎳鉻合金(如Cr20Ni80)，高溫真空爐主要是鉬質(zhì)（石墨）加熱元件。

1)真空爐石墨加熱元件損壞時，更換石墨加熱元件局部損壞的部分。將損壞部分截掉，取一節(jié)和原尺寸相同的石墨更換，真空爐鉬質(zhì)加熱元件損壞時，更換鉬加熱帶局部損壞的部分。將損壞部分截掉，取一節(jié)和原尺寸相同的鉬片，用2～3mm厚的鉬片兩面夾住，配打螺釘孔，再用鉬螺釘擰緊。在日常檢查中發(fā)現(xiàn)鉬片有變形、下墜、倒伏等現(xiàn)象時，可用噴燈烘烤使其變軟，用外力恢復(fù)其應(yīng)有形狀及相關(guān)尺寸，再用鉬絲吊起捆綁固定。

2)鉬合金的正常損壞，主要是氧化變細變脆、搭接短路、過燒或被介質(zhì)侵蝕等現(xiàn)象。鎳鉻合金比鐵鉻鋁合金使用壽命長，帶狀較絲狀為長，連續(xù)工作比間斷工作為長。鎳鉻合金塑性好，拉拔、繞制容易。經(jīng)高溫加熱也不易脆化，便于返修和焊接。鐵鉻鋁合金電阻系數(shù)較大，電阻溫度系數(shù)較小，與鎳鉻合金相比可節(jié)約材料，且功率穩(wěn)定，耐熱性能也較高，具有較強的抗?jié)B碳和耐硫、耐各種碳氫氣體的能力，只是加工性能稍差，拉拔、繞制比較困難，安裝時在爐外調(diào)整合適，必要的彎曲和壓縮應(yīng)用氣焊烤校；熱膨脹系數(shù)較大(高溫強度低和蠕變伸長大)，安裝要留有余地；焊接時要盡量縮短時間，以縮短熱影響區(qū)的長度。

2．真空爐加熱元件的故障修理真空爐鉬加熱體長時間使用以后會呈現(xiàn)變硬、收縮、下墜、先倒伏搭接、后熔斷(融)等現(xiàn)象。為使真空爐加熱絲在高溫下存在必要的強度，防行硬化、倒塌或下垂，首先要設(shè)計真空爐加熱絲的構(gòu)造尺寸，如螺旋形電阻絲，要注意加熱元件彎徑、螺距和螺旋中徑等。加熱體快要松靠真空爐保溫襯，在保溫襯擱上95陶瓷件，恰當留有其膨脹空間。擱置位置要適合，一般在100～200mm一個，并能堅固鉤住防止電阻絲趴上。此外應(yīng)避免爐絲互相之間直接接觸（短路），一般要墊隔離片。可用95瓷等耐高溫資料作為的薄片隔離電阻絲，預(yù)防短路。尤其爐膛保溫層與加熱器之間的轉(zhuǎn)換處通常留50mm空隙，用于電阻絲的轉(zhuǎn)彎和裝置)，要墊上瓷片，或爐絲套上瓷管(瓷管要底到尾)。

對呈現(xiàn)倒伏趨勢的真空爐加熱絲，可采用(架設(shè)電阻絲帶的95瓷壓住、塞緊)，并可用氣焊或噴燈烘烤爐絲等使其變軟，再復(fù)原其原有外形和尺寸，以及在爐絲中脫套瓷管(瓷管中可脫芯棒)等。也可使用兩根瓷管，瓷管端頭必須緊靠。

加熱體對個別斷頭可直接焊補，對于倒塌嚴重，不能整直的，局部過燒部分損壞嚴重的，普通可采用換補一段的辦法，無須因其中局部不及格就整套報廢，要注意用于補焊的電阻絲的資料、直徑、螺距及少度等要相符原技巧要供，新補的電阻絲不能有裂紋、銹蝕等缺點，要阻絲平勻。使用新的電阻絲時，電阻絲不能有顯明的細細不均、氧化腐化、裂紋變形和嫩化變堅等現(xiàn)象。引出棒不能有嚴重的氧化和侵蝕現(xiàn)象。

3．焊接工作中的注意事項電阻絲加熱體的焊接與一般金屬結(jié)構(gòu)的焊接不同，它要求焊接接頭部分能承受外力而不至折斷。焊接方式主要用對焊和插合焊補，也可用鉆孔焊、銑槽焊、對焊、搭焊等。焊前要清理合金表面的氧化皮、鐵銹或其他污垢，用砂布將焊接部分的金屬基體暴露出來。溫度要掌握好，避免夾渣、氣孔和焊不透等現(xiàn)象。更換合金元件較多時，焊好后要測量一下整個爐子的冷態(tài)電阻和三相電流平衡，進行適當調(diào)整，使其符合原設(shè)計要求。修理鎳鉻合金時，首先將其折斷以了解元件氧化情況。氧化嚴重時，銀白色的鐵芯很細，補焊時容易燒斷，即使勉強補焊，也使用不了多久；氧化不太嚴重，可用搭接法；如還比較新，可用對接法。一般多用氣焊，鎳鉻電阻絲作焊絲。采用對接法時，要用中性焰，火焰體積要小，焰心要直，熱量要集中；采用搭接焊法時，搭接長度，電阻絲不小于直徑的10倍；電阻帶不小于帶寬1倍。鎳鉻合金元件與引出棒之間的焊接采用搭焊或?qū)?。加熱過的鐵鉻鋁合金不允許在冷態(tài)下彎曲、拉伸或劇烈振動，若需整形或展開螺距必須加熱至暗櫻紅色進行。用電弧焊，焊條用稀土鐵鉻鋁焊條，采用插合補焊和間斷式焊接方法，以控制其受熱范圍和過熱程度。也可用銑槽焊、鉆孔焊和銑槽冷焊方法。鐵鉻鋁合金元件與引出棒之間一般用鉆孔焊。

如果電阻絲加熱體中間會有一兩塊斷裂或不絕緣，可用一根直的電阻絲，跨過斷裂或不絕緣的爐絲擱磚，直接焊接，會造成該組爐絲電阻小，工作時從外觀看，就比其他爐絲紅，使用壽命變短?？刹捎迷谛?lián)Q的爐絲中穿套瓷管，瓷棒(瓷管穿芯棒)墊起懸空，架在兩擱磚間，象架橋一樣，采用跨過的方法或在不絕緣擱磚上墊瓷片的方法，這樣不改變爐絲原有參數(shù)。 真空爐日常應(yīng)該檢查電極引出棒與線夾子應(yīng)接觸良好，引出棒與夾子接觸而應(yīng)光滑。引出棒不能有發(fā)熱現(xiàn)象，供電時線夾子的升溫最高不超過60℃。注意由于升溫停爐時的熱脹冷縮以及蠕變伸長等，引出棒接線夾子的螺栓容易發(fā)生氧化松動，形成虛接短路，要定期（每個月）檢查并擰緊。

真空計的維護與保養(yǎng)

1、按照PLC程序抽低真空：緊閉所有的真空閥門，啟動機械泵，待其運行正常后（大約1-2min），打開通向爐體的低真空閥即上碟閥，預(yù)先對爐體抽低真空。2、按照PLC程序抽高真空：打開下碟閥，對擴散泵進行抽氣，當真空度達到15Pa以下后，系統(tǒng)自動開啟擴散泵進行預(yù)熱，一般經(jīng)過45min左右擴散泵開始其作用，就可以關(guān)閉上碟閥，同時開啟主阻擋閥待真空度達到1.33×10Pa以上，才可以開啟加熱按鈕對樣品進行加熱。A：真空計有兩個量程表，低真空量程1.0×10-1.0×10；高真空量程1.0×10-1.0×10,一般在2Pa開始轉(zhuǎn)換量程。注意充大氣進去前，應(yīng)關(guān)閉真空計開關(guān)，防止真空計老化。真空計的檢定周期為1年。爐子不用時一般處于真空狀態(tài)！真空爐冷卻水100℃以下才可停止冷卻水泵。

真空爐熱電偶常見故障及處理故障現(xiàn)象